728x90 수차1 #5_프로브와 전자현미경 모드 이번 장은 프로브(probe)의 형성과 전자현미경의 여러 모드에 대해서 정리해보려고 한다. 1. 프로브의 형성 앞 장에서 설명한 대물렌즈와 집속렌즈을 control 함으로써 우리는 미세한 전자빔 형태인 프로브를 형성할 수 있다. 이 프로브가 시편 표면에 조사되어서 영상 구성에 필요한 신호를 발생시키기 때문에 프로브의 크기는 분해능을 결정하게 되고, 프로브의 전류량의 크기는 신호 발생량을 결정시킨다. 이러한 요소들이 최종적으로 '화소'를 결정하게 되는 것이다. 프로브의 크기를 결정하는 요소는 '회절 효과' 와 '렌즈의 수차' 가 있다. 회절 효과는 렌즈 통과 후 에어리 원반이 형성되면서 분해능의 저하가 생기는 것을 말하며, 전자파의 파장의 함수로 결정이 된다. 렌즈의 수차는 광학에서와 같이 구면수차, 색수.. 2023. 4. 9. 이전 1 다음
