728x90 SEM2 #5_프로브와 전자현미경 모드 이번 장은 프로브(probe)의 형성과 전자현미경의 여러 모드에 대해서 정리해보려고 한다. 1. 프로브의 형성 앞 장에서 설명한 대물렌즈와 집속렌즈을 control 함으로써 우리는 미세한 전자빔 형태인 프로브를 형성할 수 있다. 이 프로브가 시편 표면에 조사되어서 영상 구성에 필요한 신호를 발생시키기 때문에 프로브의 크기는 분해능을 결정하게 되고, 프로브의 전류량의 크기는 신호 발생량을 결정시킨다. 이러한 요소들이 최종적으로 '화소'를 결정하게 되는 것이다. 프로브의 크기를 결정하는 요소는 '회절 효과' 와 '렌즈의 수차' 가 있다. 회절 효과는 렌즈 통과 후 에어리 원반이 형성되면서 분해능의 저하가 생기는 것을 말하며, 전자파의 파장의 함수로 결정이 된다. 렌즈의 수차는 광학에서와 같이 구면수차, 색수.. 2023. 4. 9. #1_주사전자현미경 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 주사전자현미경은 전자빔을 이용해 미세한 부분을 확대하여 이미지화 하고 이를 관찰하고 관찰하고 분석하는데 사용한다. 광학현미경에 비해 높은 배율로 관찰 가능하여 많은 부분에 적용할 수 있다. 주로 시료의 겉표면 또는 시료를 파괴시켜 내부구조를 입체적으로 관찰하는데 이용이 된다. 17세기부터 개발되어 사용되어 온 광학현미경과 20세기 들어서 개발되어 온 전자 현미경은 위와 같이 구조가 매우 비슷하다. 하지만 광학현미경은 가시광선을, 전자현미경은 전자파를 사용한다. 광학현미경의 광원으로는 램프와 같은 조명을 이용하면 되기 때문에 손쉽게 만들어낼 수 있지만, 전자 빔을 이용하는 전자현미경은 전자빔을 집속할 장치가 필요하기 때문에 장비가.. 2023. 3. 16. 이전 1 다음
